โดยทั่วไปมีกระบวนการบำบัดสองกระบวนการสำหรับก๊าซเสียในอุตสาหกรรมน้ำมันซิลิโคน
การเผาไหม้ความร้อน RTO RTOและวิธีสเปรย์ + การดูดซับคาร์บอนที่เปิดใช้งาน- อุปกรณ์บำบัดก๊าซไอเสียรวมถึงตัวคั่นแก๊ส-ของเหลวคอนเดนเซอร์ลึกหอล้างกรดหอคอยล้างอัลคาลีตัวกรองแห้ง, เตาเผาเครื่องเร่งปฏิกิริยา RTO และปล่องไฟไอเสีย